中微公司迎第3000台CCP刻蚀设备反应腔付运里程碑

证(zhèng)券(quàn)时报(bào)e公司讯，近日，中微半导体设备（上海）股份有限公司（以(yǐ)下简称“中微公司”）的电容耦合等离子(zi)体（CCP）刻蚀设备第3000台反应(yīng)腔顺利付运国内一家先进的半导 体芯片制造商。

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