积极开拓新兴市场 应用，微导纳米2023年净利润增长399%

2024年4月28日晚(wǎn)间，微导纳米(mǐ)公布2023年报及2024年一(yī)季报。2023年全年，公司实现营业收入16.80亿元，同比增(zēng)长(zhǎng)145.39%。实现归母净利润2.70亿元，同(tóng)比(bǐ)增长399.33%。扣非归母净利润1.88亿元，同比增长849.89%。

2024年一季度，微导纳米营业收入达(dá)1.71亿元，同比(bǐ)增长125.27%；归母(mǔ)净利润达357.34万元，相比(bǐ)去年 同期，实现扭亏为盈，公司业务呈现高速增长态势。

报(bào)告期内，得益于微导(dǎo)纳(nà)米在(zài)薄 膜技术领域的不断突破，以及公(gōng)司在全球化发展和多元化布局上的努力，微(wēi)导纳米在实(shí)现产(chǎn)品工(gōng)艺优化升(shēng)级的同时，客户群体(tǐ)覆盖度也在进一步扩(kuò)大，业务呈现良好发展态势、市场竞争力、运营效率持 续提(tí)升，有力推动了订单规模和经营业绩的持续增长。

坚持ALD+CVD等镀膜平(píng)台化(huà)战略，赋能(néng)多元化产业发展

微导纳米是一家面(miàn)向全球的半导(dǎo)体、泛半 导体(tǐ)高端(duān)微纳装(zhuāng)备制造商。公司形成了以原(yuán)子(zi)层沉积（ALD）技术为核心，化学气相沉积（CVD）等多(duō)种真空薄膜技术梯次发展(zhǎn)的技术(shù)平台体系，专注于先进微(wēi)米级、纳米级薄膜设备的研发(fā)、生产与销售，向下游客户提
供(gōng)尖端薄膜设备、配套产品及服(fú)务。

长期以来，微导纳米坚持以(yǐ)ALD为核(hé)心，CVD等多种真 空薄膜技术梯次(cì)发展技术平台体系，凭借在(zài)新兴应用领域的前瞻性战略布局，微导纳米开(kāi)发的薄膜沉积技术及设备，目前已广泛运用于半导(dǎo)体、光伏(fú)及新兴应用(yòng)领域，并取得亮眼表现。

在半导(dǎo)体(tǐ)领域，微导纳米构建了以ALD为核心，CVD等多(duō)种(zhǒng)真(zhēn)空(kōng)薄膜技术梯次发展技术平台体系，公司半导(dǎo)体集成电路产(chǎn)品涵盖逻(luó)辑、存储、化合(hé)物半导体、新型显示等诸多细分应用领域。在(zài)光伏领域，公司ALD设备的市场占有率保持领(lǐng)先(xiān)，实现了对(duì)TOPCon产线(xiàn)真(zhēn)空类设(shè)备(bèi)的(de)全覆盖，并在XBC、HJT、钙钛矿、钙(gài)钛矿叠层等电池技术(shù)领域(y积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%ù)均有产
品储备、布局和出货。在新兴应 用领域，2023年，微导(dǎo)纳米已在光学(xué)、柔性电子、车(chē)规级芯片等几个极具市场潜(qián)力的薄(báo)膜沉积(jī)技术应用前沿领域开始获(huò)得客户订单(dān)。

得益于ALD+CVD等镀膜(mó)平台化战略(lüè)，微导(dǎo)纳米2023年成绩亮(liàng)眼。业绩报告显示，2023年，公司新增订单总额约64.69亿元，是去年同期(qī)新增订单的2.96倍。截止(zhǐ)至(zhì)2024年(nián)3月31日，公司(sī)在手订单81.91亿元（含Demo订单），其中光伏在手(shǒu)订(dìng)单70.26亿元，半导体在手订单11.15亿元，产业化中心新兴应用领域在手订单(dān)0.50亿元。

下游业务迎来突破性发展，微导(dǎo)纳(nà)米积极(jí)开拓新兴市场应用

在半导体领域(yù)，微导纳米是国内首家成功将量产(chǎn)型 High-k 原子层沉积(ALD)设备应用于集成电路制造前道积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%(dào)生产线的(de)国产积极开拓新兴市场应用，微导纳米2023年净利润增长399%设备厂商。同时，2023年7月，微导(dǎo)纳米首台半导体CVD薄膜沉积设备顺利发货至客户端，旨(zhǐ)在通过差(chà)异化(huà)策(cè)略开发出市场亟需的CVD领域高端设备(bèi)，解决关键工艺的市场空白。

根据SEMI行业统计，ALD约占(zhàn)半导体镀膜板块的11%~13%市场份额，未来(lái)几年将保(bǎo)持(chí)高速增长，复合增长(zhǎng)率高达26.3%；CVD约占半导(dǎo)体镀膜板块的57%市场份额，未来几年的(de)复(fù)合增长率约(yuē)为(wèi)8.9%。

目前，微(wēi)导纳米(mǐ)已经(jīng)开发工艺包括HKMG技术、柱(zhù)状(zhuàng)电容器、金属化(huà)薄膜沉积技术及(jí)高深宽(kuān)比3D DRAM、TSV技术等，覆 盖HfO₂、Al₂O3、ZrO₂、TiO₂、La₂O3、ZnO、SiO₂、HfSiO、HZO、HZLO、TiN、AlN、SiN、SiON、SiGe等(děng)薄膜材料。

在光(guāng)伏领域，2023年11月，微导纳米自主研发的钙钛矿晶硅叠层电池专用ALD量产设备，顺利(lì)发至海外客户。2024年3月，微导纳米成功研发出(chū)首台适用于大(dà)面积百兆瓦钙钛矿电池生产(chǎn)的专用量产型(xíng)原子层沉(chén)积(jī)(ALD)设备，并已顺利发货至业内领军企业。

值得一提的是，报告期内，微导纳米新增立项多项新兴产业应用项目，分布于柔(róu)性镀膜、芯片封装、光学超低减(jiǎn)反膜沉积、新能源等细分应用领域镀膜环节。截至目前，微导纳米自(zì)主研发的柔性电子二代机、应用于车规级(jí)芯(xīn)片ALD设备以及(jí)首台光学(xué)领域镀膜设备(bèi)已(yǐ)顺(shùn)利(lì)发货，其中车规级芯(xīn)片ALD设备出(chū)口海外(wài)。2024年1月，微(wēi)导(dǎo)纳米创新(xīn)研发的ALD量产设(shè)备顺利发往欧洲某头部(bù)芯片封装客户，实现国产高端设备出口海外。

图：薄膜(mó)沉积技术在部分新(xīn)兴领域的应(yīng)用场景

微导纳米在财报中(zhōng)表示，公司将继续依托产业化应用中心持续探索尖端薄膜沉积技术在各新 兴应用领域的发展机
会，并逐步开展产品应用验证，持(chí)续推动新兴产业的(de)技(jì)术进步。

持续加码技术研发，深挖薄膜沉积
设备技术护城(chéng)河

近年(nián)来，微导纳米以ALD技术为核心的薄膜沉积技术领域形成了多项(xiàng)核心技术和科技成果，并成功将其(qí)应用于主营业务，实现了(le)科技(jì)成果与产业的深度(dù)融合。与此同时，微导(dǎo)纳米始终坚持自主创新(xīn)、持续加大研(yán)发投入，持续探索技术边界，积极应对市场需求的变化，不断(duàn)拓宽(kuān)并深化(huà)在产业(yè)前瞻领域的技术应用，力求(qiú)实现更广泛的技术创新与产业融合。

2023年，微导纳米(mǐ)研发投(tóu)入3.08亿元，占营业收入比例达18.34%，其中约50%投(tóu)向半导体领域，包括逻辑、存储、新(xīn)型显示器、化合(hé)物(wù)半导体等项目；光伏领域研(yán)发投向包括TOPCon、XBC、钙钛矿/钙(gài)钛矿(kuàng)叠层电池等新一代高效(xiào)电池技术等项目。研发队伍人员不断增加，研发人(rén)员(yuán)达到429人，同比增长78.01%。

得益于公司对研发的重视及在(zài)研发投入上的不断加(jiā)码，2023年，微导纳米新增各类专利申请146项，新增专利授权35项，累计授权专利达到137项(xiàng)，逐步形(xíng)成了薄膜沉积反应器(qì)设计技(jì)术、基于原子层沉积的高效电(diàn)池技术、柔性材料制备技术、薄膜封装技术等十大核心技术。

凭借 坚持(chí)执行ALD+CVD等镀膜平台(tái)化战(zhàn)略，微(wēi)导纳米正持(chí)续在新兴领域进行前沿化(huà)开发，为公司未来发展创造更多收入增长(zhǎng)极(jí)。此(cǐ)外，在技术(shù)协同效应(yīng)进一步显现(xiàn)下，微导纳米通过跨行业(yè)的业务分布，拥有了较强的穿越行业 周(zhōu)期的能力，公司的抗风险能力得到进一步提升。未来，随着其他新兴技术市场的发展(zhǎn)，微(wēi)导
纳米作为平台型的关键设(shè)备供应商的优势将进一步显现。（齐
和宁）

校对：苏焕文

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